Lead Screw Front Support Block, für KLA SP1
kompatibel zu KLA P/N 350605, SUPPORT BALL SCR 10MM SHFT
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Lead Screw Rear Support Block, für KLA SP1
kompatibel zu KLA P/N 349224 LEAD SCREW REAR SUPPORT BLOCK -
Hauptnetzteil im Haupt-Netzteileinschub, Niederspannung für SP1 DLS
kompatibel zu KLA P/N 0279265-000 FRU KIT,PWR SUPPLY,MODULAR,650W,CONFIG und KLA P/N 0056119-000 PWR SUPPLY,MODULAR,650W,CONFIG -
Hauptnetzteil im Haupt-Netzteileinschub, Niederspannung für SP1 TBI kompatibel zu KLA P/N 0056119-000 PWR SUPPLY,MODULAR,650W,CONFIG
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X-Achsen Motor der KLA SP1 TBI und DLS
kompatibel zu KLA P/N 344389, STAGE X-AXIS MOTOR ASSEMBLY, SP1 und P/N 344192, MOTOR ASSY,TRANSL AXIS,SP1 -
Centering Device Z Motor der KLA SP1 TBI und DLS
kompatibel zu KLA P/N 341169, MOTOR ASSY,CD Z,SP1 ( REV A und REV AB verfügbar) -
Photomultiplier Röhre für KLA SP1
kompatibel zu KLA P/N 0092493-001 PHOTOMULTIPLIER TUBE,SP1 -
Ersatzlinse in Halterung für den Spatial Filter SP1 TBI und DLS im Normal Pfad
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Ersatzlinse in Halterung für den Spatial Filter SP1 TBI und DLS im Oblique Pfad
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Spindle mit Motor für KLA SP1 DLS & TBI kompatibel zu KLA P/N 0048209-001 etc.
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Festkörperlaser (Solid State Laser) 488nm 75mW für KLA SP1-DLS
mit Netzteil, Conversion Kit und 3 Jahren Garantie -
Festkörperlaser (Solid State Laser) 488nm 30mW für KLA SP1-TBI
mit Netzteil, Conversion Kit und 3 Jahren Garantie -
Target Toolkit für KLA SP1 TBI oder DLS beinhaltet 12 Targets plus 1 Stück SP1-TK-RMC (Radiometric Clamp), im Hardcase, geeignet für dein Einsatz im Reinraum
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Einkanal-Leistungsmess-Kit bestehend aus einem Einkanal- Leistungsmessgerät und einem Leistungssensor, speziell kalibriert für den Einsatz an der KLA SP1 TBI oder DLS
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Zweikanal-Leistungsmess-Kit bestehend aus einem Zweikanal- Leistungsmessgerät und zwei Leistungssensoren, speziell kalibriert für den Einsatz an der KLA SP1 TBI oder DLS, für eine einfache Einstellung des Autocal-Pins
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Fernbedienung zum Testen der Funktion des Lasers und des Lasernetzteils einer KLA SP1 TBI und DLS (Stromwerte und Ausgangsleistung des Lasers ändern/anzeigen)
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Spezielle Klemmhalterung zur Radiometric-Leistungsmessung bei der KLA SP1 TBI und DLS. Teil aus unserem SP1-Toolkit (SP1-TK).
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Vacuum Chuck für 200mm und 300m Wafer für KLA SP1
kompatibel zu KLA P/N 0023892-000 CHUCK,200/300MM WAFER,VACUUM;SP1