Autocal Pin (nur Pin!) für KLA SP2
kompatibel zu KLA P/N 0063021-005 AUTO-CAL ASSY, SP2
Wir bieten Ihnen eine Vielzahl von Optik-Assemblies, Ersatzteilen und Service für die KLA-Tencor / KT Surfscan SP2 an. Die Fertigung und Montage findet mit höchsten Qualitätsstandards bei uns in Deutschland statt. Eine Garantie auf diese Teile versteht sich deswegen von selbst.
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Aligner Sensor Assembly, für KLA SP2
kompatibel zu KLA P/N 545074 Sensor Assy, Feature, Aligner -
Attenuator Assembly (Attenuator Assy.) für KLA SP2
kompatibel zu KLA P/N 0253452-000 FRU, ATTENUATOR ASSY, HALF-WAVE, EC, SP2 -
Auto Zero Dump Assembly, für KLA SP2
kompatibel zu KLA P/N 0073447-002, AUTO-ZERO ASSY,OPTICS,SP2 -
Beam Pick-Off Set (2 Stück) für Quad-Cells für KLA SP2 (auch einzeln erhältlich)
kompatibel zu KLA P/N 0253456-000 FRU, MIRROR, PICK-OFF, QC1, EC, SP2 und KLA P/N 0278802-000 FRU, MIRROR, PICK-OFF, QC2,EC,SP2 -
Beam Position Sensor Board für KLA SP2
kompatibel zu KLA P/N 375403 PCB ASSY,BEAM POS SENS,SP1+ -
BPS ND Filter Assembly für KLA SP2
kompatibel mit KLA P/N 0214580-001 -
Beam Splitter Assembly (BSC Assy.) für KLA SP2
kompatibel zu KLA P/N 0253755-000 FRU, BSC ASSY, NRMLOBL CHNL, EC, SP2 -
Kammer-Drucküberwachung, mißt und überwacht den Luftdruck in der Scankammer - löst bei schwacher oder defekter FFU einen Interlock aus.
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Dump Mirror (Reparatur-Kit) für BPS Pfad
kompatibel zu KLA P/N 0065817-001 MIRROR, DUMP, BPS,SP1-UV -
Half-Wave Assembly (HWP Assy.) für KLA SP2
kompatibel zu KLA P/N 0253458-000 FRU,ROTATOR ASSY,HALF-WAVE,EC,SP2 -
Half-Wave Quarter-Wave Changer Assembly (HWP QWP Assy.) für KLA SP2
kompatibel zu KLA P/N 0253453-000 FRU, CHANGER ASSY, QTRHALF-WAVE, EC, SP2 oder KLA P/N 0214553-001 FRU,Changer ASSY,QTR/Half-WAVE SP2 -
Spectra Physics Vanguard Laserkopf 350mW für KLA SP2
kompatibel zu KLA P/N 0235019-000 Laser Head, UV, 355nm, 350mW, T sesam mo und KLA P/N 0113630-000 LASER HEAD, UV, 355MW, UNCOATED SESAM. -
Lead Screw für KLA SP2 kompatibel zu KLA P/N 0059176-000 SCREW,BALL,12MM DIA,2MM LEAD,SP1 UV
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Lead Screw Front Support Block, für KLA SP2
kompatibel zu KLA P/N 350605, SUPPORT BALL SCR 10MM SHFT -
Lead Screw Rear Support Block, für KLA SP2 kompatibel zu KLA P/N 349224 LEAD SCREW REAR SUPPORT BLOCK
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Hauptnetzteil 650W, Niederspannung für SP2 Teil des Haupt-Netzteileinschubs KLA P/N 0094103-001, FRU,DC MODULE ASSY,PDU,SP2
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X-Achsen Motor der KLA SP2
kompatibel zu KLA P/N 0102491-000, MOTOR ASSY, BALL SCREW, X-STAGE, SP2 -
Y-Motor für Centering Device der KLA SP2 kompatibel zu KLA P/N 0085136-002, MOTOR ASSY, CENTERING DEVICE, SP2
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Z-Achsen Motor der KLA SP2 kompatibel zu KLA P/N 0145724-000, FRU,MOTOR/ENCODERASSY,Z-AXIS,SPINDLE,SP2